SiC、石英、陶瓷磨削加工設(shè)備 XG系列
發(fā)布時(shí)間：2022/07/11 瀏覽：
最大加工直徑600mm/ 800mm SiC、石英、陶瓷磨削加工設(shè)備 XG系列
迪恩機(jī)床有限公司推出了采用最高5000r/min速度的磨削主軸，適用于石英、陶瓷材料加工的XG600升級(jí)產(chǎn)品和XG800。這是生產(chǎn)半導(dǎo)體晶圓所需的SiC、陶瓷、石英材質(zhì)零部件的磨削加工設(shè)備，可以大幅降低零部件單價(jià)高的高純度、高耐熱性材料的加工工序的不良率，實(shí)現(xiàn)強(qiáng)大穩(wěn)定的加工性能。
XG采用了震動(dòng)吸收能力非常優(yōu)秀的硬軌和穩(wěn)定的X軸支撐結(jié)構(gòu)，適合對(duì)振動(dòng)非常敏感，X軸負(fù)荷高的磨削加工。此外標(biāo)配嵌入式磨削主軸，可實(shí)現(xiàn)高品質(zhì)加工，可以選擇適用于SiC等高硬度材料加工的7.5kW高功率選項(xiàng)。為了在磨削主軸回轉(zhuǎn)時(shí)能夠感知速度并進(jìn)行操作，搭載了可以區(qū)分不同階段的速度，能夠確認(rèn)當(dāng)前階段的功能。
精密度達(dá)到行業(yè)最高水平的-0.01mm~+0.01mm的誤差范圍，通過(guò)一體式高剛度Bed結(jié)構(gòu)和進(jìn)一步提升了穩(wěn)定性的進(jìn)給軸導(dǎo)軌，減少了振動(dòng)，也能把熱變形降至最低。
尤其是淤泥（石英粉塵）處理簡(jiǎn)單，增加了設(shè)備的耐久性。設(shè)備縫隙除屑器和蓋子是貼合的結(jié)構(gòu)，可以阻斷石英粉滲透，采用一字型切削液罐，便于清理淤泥。采用從Bed前方或后方可以拆裝切削液罐的結(jié)構(gòu)，能夠有效利用空間。
此外，為了提高用戶的便利性，留出了設(shè)備門(mén)的開(kāi)放空間，提供足夠的內(nèi)部作業(yè)區(qū)域，換材料及換刀時(shí)操作更加便捷。還增加了C軸控制功能，可以在一臺(tái)設(shè)備上實(shí)現(xiàn)原先需要單獨(dú)用銑床進(jìn)行的孔研磨加工。
如需咨詢和了解生產(chǎn)半導(dǎo)體晶圓所需的石英和陶瓷零部件的磨削加工，能夠提供強(qiáng)大穩(wěn)定的加工性能的迪恩機(jī)床的XG 600/800設(shè)備，請(qǐng)致電迪恩機(jī)床的全國(guó)經(jīng)銷(xiāo)商。
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